Ảnh hưởng của mật độ và năng lượng ion đến tính chất của màng Ti-DLC phủ bằng phương pháp plasma tăng cường

Việc oanh tạc của các ion lên bề mặt màng trong quá trình phủ màng bằng phương pháp plasma có thể ảnh hưởng nhiều đến tính chất của màng carbon giống kim cương (DLC) cũng như các màng composite có nền cac-bon giống kim cương.